CCZK-SF磁控濺射鍍膜設(shè)備—鍍膜設(shè)備—馳誠(chéng)

CCZK-SF磁控濺射鍍膜設(shè)備——產(chǎn)品信息

馳誠(chéng)CCZK-SF磁控濺射鍍膜機(jī)，具備成膜速率高，基片溫度低，膜的粘附性好，可實(shí)現(xiàn)大面積鍍膜 

相對(duì)于傳統(tǒng)蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，馳誠(chéng)磁控濺射鍍膜可獲得更為優(yōu)秀的膜層致密性，均勻性和結(jié)合力 

采用最為先進(jìn)的直流或中頻磁控濺射電源，滿(mǎn)足不同層次客戶(hù)需求 

先進(jìn)的高速低溫濺射技術(shù)，極大的擴(kuò)展了馳誠(chéng)CCZK-SF磁控設(shè)備的應(yīng)用范圍，對(duì)無(wú)法受熱或耐熱力產(chǎn)品提供優(yōu)質(zhì)的濺射鍍膜解決方案 

采用馳誠(chéng)創(chuàng)新工藝制造，精益求精，全面通過(guò)歐盟CE和ISO國(guó)際質(zhì)量管理體系認(rèn)證；

腔體結(jié)構(gòu):    立式前開(kāi)門(mén)，臥式前開(kāi)門(mén)。 

材質(zhì)用料：腔體材質(zhì)為SUS304不銹鋼或碳鋼 

真空系統(tǒng):    擴(kuò)散泵（可選分子泵）+羅茨泵+機(jī)械泵+維持泵（另有深冷泵系統(tǒng)可供選擇） 

濺射靶材:    中心圓柱靶，平面靶，孿生靶等 

磁控電源:    可配備直流或中頻磁控濺射電源 

轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng):    變頻調(diào)速，公自轉(zhuǎn)結(jié)合，可根據(jù)客戶(hù)產(chǎn)品和要求設(shè)計(jì) 

膜層結(jié)構(gòu):    單層膜、多層膜 

氣體控制:    氣體流量控制儀集成觸控操作控制 

人機(jī)界面:  PLC智能控制+全彩HMI觸摸屏 

操作方式:  邏輯全自動(dòng)方式、半自動(dòng)方式、手動(dòng)方式 

智能控制:  PLC智能控制+HMI全彩人機(jī)觸控界面，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制 

報(bào)警及保護(hù):異常情況進(jìn)行報(bào)警，并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施。 

其他技術(shù)參數(shù)： 

極限真空：  5.0×10-4Pa 

抽氣速率：  5.0*10-2≤5min 

水壓流速≥0.2Mpa  3m3/h；水溫≤25℃；氣壓：0.4-0.8Mpa； 

備注: 

一般規(guī)格: 

      Φ1000mm*H1200mm，Φ1400mm*H1600mm，Φ1200mm*H1500mm， 

      Φ1800mm*H2000mm，  Φ2000mm*H2200mm 

真空室尺寸或設(shè)備配置可按客戶(hù)產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做 

真空鍍膜設(shè)備：http://www.zjcczk.com/

鍍膜設(shè)備:http://www.zjcczk.com/product/167.htm

CCZK-SF磁控濺射鍍膜設(shè)備——廠家信息

溫州馳誠(chéng)真空機(jī)械有限公司

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