CCZK-IONL大型多弧離子PVD鍍膜設(shè)備—真空電鍍設(shè)備—馳誠

CCZK-IONL大型多弧離子PVD鍍膜設(shè)備——產(chǎn)品信息

馳誠大型多弧離子鍍鈦設(shè)備創(chuàng)新采用立式前開門的設(shè)計，優(yōu)秀的機械門軸設(shè)計和轉(zhuǎn)架定制為您大型工件的離子鍍膜提供極為便利的操作。同時可以獲得優(yōu)異性能的膜層 

全SUS304優(yōu)質(zhì)不銹鋼機身，隱藏式雙層冷卻水套設(shè)計 

合理配備多套最新研制的離子弧源，有效保障弧源濺射的穩(wěn)定性與均勻性 

采用先進的多路進氣系統(tǒng)，精準控制氣體流量，滿足您多種化合物膜層需求。 

裝載大功率脈沖偏壓電源，極大提高電粒子能量，從而獲得優(yōu)秀的膜層結(jié)合力和光潔度 

采用馳誠創(chuàng)新工藝制造，精益求精，全面通過歐盟CE和ISO國際質(zhì)量管理體系認證；

  腔體結(jié)構(gòu):    立式前開門，臥式前開門，后置真空獲得系統(tǒng) 

材質(zhì)用料:    腔體采用優(yōu)質(zhì)SUS304不銹鋼材質(zhì) 

離子弧源:    依據(jù)設(shè)備大小不同配備多套弧電源系統(tǒng) 

偏壓電源:    配備大功率單級脈沖偏壓電源 

多弧靶材:    標配多套鈦靶或不銹鋼靶材 

轉(zhuǎn)動系統(tǒng):  變頻調(diào)速，公自轉(zhuǎn)結(jié)合，可采用上傳動或下傳動方式 

真空系統(tǒng):    擴散泵（可選分子泵）+羅茨泵+機械泵+維持泵+深冷系統(tǒng)（可選） 

氣體控制:    多路氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng) 

加熱系統(tǒng):    全新鎧裝加熱裝置，350℃PID可調(diào)溫控。 

智能控制:  PLC智能控制+HMI全彩人機觸控界面，實現(xiàn)邏輯全自動控制 

報警及保護:異常情況進行報警，并執(zhí)行相應保護措施。 

其他技術(shù)參數(shù)： 

極限真空：  5.0×10-4Pa 

抽氣速率：  5.0*10-2≤5min 

水壓流速≥0.2Mpa  3m3/h；水溫≤25℃；氣壓：0.4-0.8Mpa； 

一般規(guī)格：Φ2000mm*H4000mm      Φ2200mm*H4500mm 

真空室尺寸或設(shè)備配置可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做 

真空鍍膜設(shè)備：http://www.zjcczk.com/

鍍膜設(shè)備:http://www.zjcczk.com/product/167.htm

CCZK-IONL大型多弧離子PVD鍍膜設(shè)備——廠家信息

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