CNT石墨烯生長爐是一款專業(yè)在銅箔為沉底材料上生長高質(zhì)量石墨烯的專用設(shè)備，通過拓展也可用用于其他二維材料譬如二硫化鉬、碳納米管等的生長，廣泛應(yīng)用于航空航天、微電子等領(lǐng)域。

石墨烯生長爐主要由銅箔、高溫腔體、石英管、石英支架、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、自動化控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)等組成。

1、沉底材料采用銅箔；

2、生長腔體采用進(jìn)口高純石英管，配石英支架、為石墨烯的生長提供潔凈環(huán)境；

3、加熱腔體采用進(jìn)口陶瓷纖維加熱器，均溫區(qū)650mm、對開式結(jié)構(gòu)；

4、加熱爐體配有移動滑軌，可左右移動；

5、密封法蘭均采用不銹鋼材質(zhì)，配水冷套，可連續(xù)長時間工作；

6、氣路系統(tǒng)采用三路質(zhì)量流量計(jì)（可拓展多路），配預(yù)混系統(tǒng)；

7、真空系統(tǒng)采用機(jī)械泵，可選配擴(kuò)散泵或分子泵機(jī)組；

8、控制系統(tǒng)采用10寸觸摸屏加西門子PLC模塊；

9、可選配RF射頻電源模塊

10、氣體種類：N2、H2、CH4

11、溫度、氣體、真空、冷卻水等通過PLC控制，通過PC實(shí)時控制和顯示相關(guān)的實(shí)驗(yàn)參數(shù)，自動保存實(shí)驗(yàn)參數(shù)，也可采用手動控制

12、系統(tǒng)采用集成化設(shè)計(jì)，控制系統(tǒng)、混氣罐、質(zhì)量流量計(jì)等均內(nèi)置在箱體內(nèi)部，占地面積小。整體安裝四個可移動輪子，方便整體移動。