CNT石墨烯連續(xù)生長爐是一款專門進行大面積,連續(xù)化生長高質量石墨烯的專用設備,通過拓展也可用用于其他二維材料的生長。
 石墨烯連續(xù)生長爐主要由銅箔、真空進料室、真空出料室、高溫腔體、石英管、石英支架、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、自動化控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)等組成。
1、真空進料室和出料室均采用不銹鋼腔體、內置安裝支架、不銹鋼輥輪,主要用于銅箔的安裝和取放。其中銅箔的收集主要通過步進電機帶動不銹鋼輥輪進行。
2、生長腔體采用進口高純石英管,配石英支架、石墨板、為石墨烯的生長提供潔凈環(huán)境;
3、加熱腔體采用進口陶瓷纖維加熱器,均溫區(qū)650mm、對開式結構;
4、加熱爐體配有移動滑軌,可左右移動;
5、密封法蘭均采用不銹鋼材質,配水冷套,可連續(xù)長時間工作;
6、氣路系統(tǒng)采用三路質量流量計(可拓展多路),配預混系統(tǒng);
7、真空系統(tǒng)采用機械泵,可選配擴散泵或分子泵機組;
8、控制系統(tǒng)采用10寸觸摸屏加西門子PLC模塊;
9、可選配RF射頻電源模塊
10、氣體種類:N2、H2、CH4
11、溫度、氣體、真空、冷卻水等通過PLC控制,通過PC實時控制和顯示相關的實驗參數(shù),自動保存實驗參數(shù),也可采用手動控制
12、系統(tǒng)采用集成化設計,控制系統(tǒng)、混氣罐、質量流量計等均內置在箱體內部,占地面積小。整體安裝四個可移動輪子,方便整體移動。
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