規(guī)格:

1)加熱部分

—      增壓式強制熱風系統(tǒng)，直聯(lián)高溫馬達驅動，變頻調整風速

—      8個加溫區(qū)，16個加熱模塊(上8個/下8個)，獨立溫控及開關

—      不銹鋼爐膛

—      溫度控制范圍:室溫-300℃

—      溫度控制精度:±1℃(靜態(tài))

—      基板橫向溫度偏差: ±2℃

2）冷卻部分

—      軸流風機強制水冷卻(雙冷卻區(qū))

—      外置3匹冷水機制冷

—      冷水溫度可調，冷卻區(qū)溫度顯示

3）控制部分

—      PIII工業(yè)電腦控制，WINDOWS98操作界面，中英文繁簡體在線自

由切換，15″LCD顯示器

—      溫度曲線測量及分析功能，虛擬仿真功能