主要規(guī)格及技術參數

2.1 鍍膜室尺寸: (寬*深*高) 800MM*800MM*860MM

2.2 極限壓力: ≤3*10-4pa

2.3 恢復真空抽氣時間: ≤15min

2.4 鍍膜室升壓率: ≤0.8Pa/h

2.5 蒸發(fā)源:

磁偏轉e型電子槍 QE6-20/4B (光偶定位)1套

功率: 6KW

2.6 射頻轟擊: 功率1000W

2.7 工件架: 公自轉夾具

2.8 工件旋轉: (5-25)r/min 轉速連續(xù)可調

2.9 烘烤: 碘鎢燈烘烤，烘烤溫度≤300℃

2.10 真空系統:

a)K-600A 擴散泵(氟里昂冷阱，制冷單元用戶自備)

b)ZJY-150A 羅茨泵

c)2X-70 真空泵

d)2X-15 真空泵

2.11膜厚控制:預留安裝孔

2.12水路: 采用標準城市飲用水或質量相當的水，進水溫度不高于25℃，水壓不小于(2-2.5)* Pa

2.13 壓縮空氣: 清潔干燥氣體，壓力(5-7)* Pa

2.14 總工率: ~36KW 三相四線制380VAC 50HZ

3. 結構說明

3.1 本設備由下列部分組成

a)ZZSX-800E 主機 1臺

b)真空操作柜 1套

c)DEF-6H 電子槍電源柜 1臺

主機由機架，鍍膜室，真空系統組成.

3.2 機架為長方體，架體由鋼板和型材焊接組成.鍍膜室裝在機架上面，水冷單元和氣動控制部分安裝在機架后方.

3.3 鍍膜室為立式前開門結構，全不銹鋼材料制作，內表面拋光處理，外表面噴丸處理.鍍膜室和門外壁焊有冷卻水道.門上有兩面?zhèn)€觀察窗，下側觀察窗內裝有活動擋板，硬質玻璃外面有一層鉛玻璃以防X射線的輻射，里面為一層保護玻璃用彈簧卡圈固定，污染后可隨時將其拆下清洗后再裝上.外部裝有暗色玻璃以保護眼睛.鍍膜室底板上裝有電子槍，氣動擋板機構，碘鎢燈烘烤裝置以及備用孔.工作旋轉驅動由頂部引入，鍍膜室內壁有可拆卸的不銹鋼屏蔽板，便于清理膜屑.真空測量的規(guī)頭既可裝在鍍膜定頂部也可裝在高閥上.

3.4真空系統由擴散泵，冷阱，高閥，前級閥，預抽閥，旁路閥，羅茨泵.前級泵，維持泵以及真空管道組成，手動操作.

3.5 電子槍以及相應的操作柜，請參照各自的使用說明書.

3.6電子柜是標準19英寸機架.它由真空控制，旋轉控制及轟擊控制等部分組成，各閥門控制是交流220V.真空操作為手動控制方式.

3.6.1 真空控制:采用按鍵開關和繼電器作為控制元件.

3.6.2 旋轉控制:采用變頻調速器，實現工件架的無級調速，接通旋轉電源，調節(jié)變頻調速器，工件架平穩(wěn)起動達到需要的轉速停止.工作完畢關閉旋轉電源.