簡  介

5635型MP離子風(fēng)棒，是對應(yīng)用在先端半導(dǎo)體制造工程等100nm以下的微小型顆料除靜電器。

特點：

?  采用在世界上無與倫比的電極材料單晶硅的優(yōu)勢，避免超低顆料特性的電極材料的重金屬污染的風(fēng)險。

?  通過獨特的MP（脈沖調(diào)制）方式，可以有效的發(fā)揮離子除電性能。

?  平衡的電位，即使是在距100mm的距離也可用使用的特性及靜電桿長且離子平衡度好。

?  通過智能控制電路，可自動管理離子發(fā)生狀態(tài)及離子平衡度。

?  1/4圈可以拆卸更換電極，有助于減少維護工時。

?  電位波動小的MP方式的特性，簡化了組裝。另外，電位波動小可以保持離子平衡度在管理的基準內(nèi)。

?  設(shè)定了適合半導(dǎo)體前工序EFEM用的除靜電棒長度。

?  內(nèi)置24V  DC驅(qū)動控制器的小巧緊湊型設(shè)計。

?  可用于全球高層次網(wǎng)絡(luò)。

產(chǎn)  品  規(guī)  格

輸入電壓

24V  DC  +  /  -10％

輸出電壓

最大可調(diào)至約13.5kv  PP

安裝距離

100毫米?1000毫米（無空氣凈化）

離子生成方式

電暈放電法

PM（脈沖變調(diào)）方式  變動頻率　1  ～　33  Hz

 

 

離子平衡度

自動平衡調(diào)節(jié)方法
< +/-10V內(nèi)離子風(fēng)棒直下  根據(jù)位置的不同會有差異< +/-10v
(600  mm距離）

電極

單晶硅電極    可更換

吹氣

清潔干燥的空氣或氮氣

最大氣壓力

310Kpa

臭氧產(chǎn)生量

< 0.05PPM（24時總值）

信號輸出

報警IO    電極輸出

 

  尺寸

高78mm*寬34mm*t長（如下值）

450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750

/  1900/2050/2200/2350Mm

外觀

ABS樹脂