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廣州帕納光電科技有限公司

主營(yíng):分子泵,真空泵,真空規(guī),AE電源,真空油泵
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[供應(yīng)]帕納光電分子泵渦輪分子泵維修價(jià)格汕尾渦輪分子泵維修
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  • 產(chǎn)品產(chǎn)地:廣東
  • 產(chǎn)品品牌:Varian
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  • 產(chǎn)品數(shù)量:0
  • 計(jì)量單位:
  • 產(chǎn)品單價(jià):0
  • 更新日期:2015-03-26 13:54:15
  • 有效期至:2015-09-22
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帕納光電分子泵渦輪分子泵維修價(jià)格汕尾渦輪分子泵維修 詳細(xì)信息

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大多數(shù)渦輪分子泵對(duì)于輸送輕氣體(如氫、氦)的能力很強(qiáng)。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對(duì)于那些富氫的工藝過(guò)程,氦質(zhì)譜檢漏儀等場(chǎng)合均可得到應(yīng)用。有專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵,適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕,離子束加工,低壓化學(xué)氣相沉積,外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過(guò)程中,抽除的氣體會(huì)對(duì)低溫泵、離子泵、擴(kuò)散泵油等有腐蝕作用。甚至也會(huì)破壞標(biāo)準(zhǔn)的未加保護(hù)的渦輪分子泵。由于渦輪分子泵屬于傳輸型泵,被抽氣體可穿膛而過(guò),不在泵內(nèi)積存。因而它適于氣體負(fù)荷高的工藝過(guò)程。如濺射、刻蝕等。

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