多晶硅定向凝固爐

設(shè)備用途及簡介
本設(shè)備為立式結(jié)構(gòu)，具有高真空、充氣及高溫熔化定向凝固等功能。是多晶硅原料熔化及成錠的的優(yōu)選設(shè)備。在添加等離子加熱源后可滿足部分提純要求。設(shè)備具有自動控溫、快速升溫冷卻、快速升降取錠、超壓保護等功能。同時設(shè)有操作平臺方便操作及維護。
 主要技術(shù)參數(shù)
1、 電源額定容量：160KW
2、 中頻感應(yīng)加熱或電阻加熱（可選）
3、最高溫度：1600℃ （90kg）
4、 控溫精度：±3℃（熱電偶）
5、 進出坩堝方式：爐底升降
6、  爐底最大位移：1000mm
7、極限真空度：≤6.67*10-3Pa(5*10-5乇)
8、定向凝固速度:5-25mm/小時