1.品牌:《南北電子》
2.設(shè)備適用:該設(shè)備適用于薄晶圓(到80 μm)以及符合 SEMI單晶圓濕法工藝標(biāo)準(zhǔn)的晶圓。
3.設(shè)備特點(diǎn):采用標(biāo)準(zhǔn)的濕法工藝對(duì)硅晶圓片進(jìn)行清潔、去膠、刻蝕和光刻。全電腦自動(dòng)控制方式,保護(hù)脆弱的薄晶圓在工藝流程中不受損毀。
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